離子探針的數(shù)據(jù)系統(tǒng)和應(yīng)用

離子探針的數(shù)據(jù)系統(tǒng)和應(yīng)用
用計(jì)算機(jī)接收掃描離子像的優(yōu)點(diǎn)為：
　　a ．當(dāng)樣品易損壞或要求快速分析時(shí)，快速接收是非常重要的。
　　b ．能貯存所有信息，且不太費(fèi)時(shí)。
　　c ．圖像易貯存在磁盤(pán)、光盤(pán)或磁帶上，便于傳送、再顯；
　　d ．生處理數(shù)據(jù)以得到最大的信息。
　　市場(chǎng)上可以買(mǎi)到一些常用的離子探針計(jì)算機(jī)系統(tǒng)。如英國(guó)VG 公司的VGX 7000 系列，使用DEC 公司的PDP11/23 小型機(jī)，Micro-RSX 操作系統(tǒng)�？山邮蘸吞幚矶�次離子或二次電子像以及常用的質(zhì)譜圖和深度剖析。具有一個(gè)8 位每幀可存512×512 像素的圖像寄存器，允許同時(shí)貯存4 幅256×256 像素的圖像，每個(gè)像素接收時(shí)間為0.3ms ，一幅256×256 的像，最少時(shí)間為20s�，F(xiàn)又開(kāi)發(fā)出TOF?SIMS 系統(tǒng)，可同時(shí)至多接收8 幅像，每幅像中至多可包含20 個(gè)峰（或峰群）。美國(guó)Charles Evans & Associates 公司開(kāi)發(fā)3PC-1 數(shù)據(jù)系統(tǒng)，輻照計(jì)| 聲級(jí)計(jì)| 溫濕度計(jì)| 紅外線(xiàn)測(cè)溫儀| 溫濕度儀| 紅外線(xiàn)溫度計(jì)| 露點(diǎn)儀| 亮度計(jì)| 溫度記錄儀|可用于Cameca 離子顯微鏡。使用IBM 公司的PC-AT 微機(jī)，提供常用的質(zhì)譜圖、深度剖析軟件和接收離子像功能。所帶的附件能現(xiàn)調(diào)離子像且調(diào)節(jié)強(qiáng)度標(biāo)尺，產(chǎn)生追溯線(xiàn)掃描，實(shí)現(xiàn)多維圖像接收和處理等功能。用計(jì)算機(jī)接收時(shí)，利用位敏檢測(cè)器（該公司是電阻性阻極編碼器，型號(hào)為RAE ? SPC），能指定到達(dá)二次離子位置，產(chǎn)生一幅元素分布圖。
 
應(yīng)用
成像離子探針適用于許多不同類(lèi)型的樣品。下面給出一些代表性例子。
（1）金屬樣品
　　這是理想的樣品，不會(huì)荷電。首先可用SEM 直接找出感興趣的分析區(qū)。使用剖面樣品和使用掃描離子探針，沿剖面線(xiàn)掃描的方法是一種有用的技術(shù)，可作為動(dòng)態(tài)SIMS 的補(bǔ)充�？捎糜诮饘傺趸�物成長(zhǎng)、腐蝕、焊接、應(yīng)力失效斷裂和晶粒間界偏析等方面的研究。
（2）半導(dǎo)體器件
　　檢測(cè)摻雜分布剖面和層形結(jié)構(gòu)。隨著超大規(guī)模集成電路的發(fā)展，掃描離子探針?lè)治鲈絹?lái)越重要。
（3）非導(dǎo)體樣品
　　高聚物和玻璃產(chǎn)品是典型絕緣樣品。為子解決荷電問(wèn)題，已開(kāi)發(fā)出了微聚焦掃描原子束，可以對(duì)絕緣樣品產(chǎn)生高質(zhì)量的離子像。但當(dāng)橫向分辨率需優(yōu)于5μm 時(shí)，上述源就不能滿(mǎn)足要求了。此時(shí)仍需用聚焦微離子束。這方面己成功地得到了家蠅復(fù)眼的離子像。應(yīng)用的另一個(gè)領(lǐng)域是復(fù)合材料，尤其是研究這類(lèi)材料破裂界面的情況。