掃描電鏡的電器系統(tǒng)及圖像處理
電器系統(tǒng)包括高壓電源、透鏡電源、對(duì)中偏轉(zhuǎn)電源、像散器電源、掃描電源、各種檢測(cè)器顯示器電源、真空及電子光學(xué)系統(tǒng)控制系統(tǒng)等。它們都是一些恒壓或恒流源和一些邏輯控制電路或數(shù)字電路,可參考有關(guān)的專業(yè)書籍。
紅外線測(cè)溫儀|
溫濕度儀|
紅外線溫度計(jì)|
露點(diǎn)儀|
亮度計(jì)|
溫度記錄儀|
溫濕度記錄儀|
光功率計(jì)|
粒子計(jì)數(shù)器|
粉塵計(jì)|
掃描電鏡圖像處理實(shí)際上包括圖像處理和圖像分析等。掃描電鏡中的視頻信號(hào)處理如微分、γ處理;低通、高通濾波等實(shí)際是模擬圖像處理。下面指的是數(shù)字圖像處理。對(duì)一幅連續(xù)的圖像按一定的取樣間隔進(jìn)行取樣,并對(duì)取樣值按事先規(guī)定的一定數(shù)目的均勻分立的灰度級(jí)進(jìn)行量化,可以得到一個(gè)實(shí)數(shù)陣列,陣列中每個(gè)元素稱為像素。這個(gè)陣列表示的離散化了的圖像就為數(shù)字圖像。掃描電鏡的數(shù)字圖像陣列為512×512 或l024×1024 個(gè)像素。像素的灰度等級(jí)的數(shù)目為128 或256 。由于掃描電鏡的信號(hào)如二次電子等都是當(dāng)電子束在樣品表面進(jìn)行光柵掃描時(shí)產(chǎn)生的,信號(hào)本身就是按時(shí)序排列的,特別適合于聯(lián)機(jī)的實(shí)時(shí)信號(hào)采集和量化。因此掃描電鏡的圖像處理系統(tǒng)常常是聯(lián)機(jī)的,而不像透射電鏡,要先拍出圖像,而后通過光
密度計(jì)或攝像機(jī)等數(shù)字化設(shè)備完成信號(hào)采集和量化。
a .濾波處理
b .圖像增強(qiáng)
c .偽彩色變換
d .圖像分析