綠色器件佳能開(kāi)始銷售新的高容量的FPA-3030i5 +

綠色器件佳能開(kāi)始銷售新的高容量的FPA-3030i5 +
2012年佳能公司今天宣布，該公司已經(jīng)開(kāi)始銷售新的FPA-3030i5 + i線步進(jìn)設(shè)計(jì)，以提供高效節(jié)能的“綠色設(shè)備”制造一個(gè)長(zhǎng)期的制造解決方案，和MEMS （微機(jī)電系統(tǒng)）設(shè)備。


Canon FPA-3030i5+ 

作為清潔能源和節(jié)能增加的認(rèn)識(shí)，也有新的需求，“綠色技術(shù)”，包括風(fēng)能和太陽(yáng)能發(fā)電，車輛的燃油效率，低功耗的設(shè)施和環(huán)保設(shè)備。趨勢(shì)表明，向產(chǎn)品和運(yùn)營(yíng)對(duì)環(huán)境的影響減少驅(qū)動(dòng)器。
真空表| 硬度計(jì)| 探傷儀| 電子稱| 熱像儀| 頻閃儀| 測(cè)高儀| 測(cè)距儀| 金屬探測(cè)器
環(huán)保設(shè)備制造商有獨(dú)特的工藝要求，并已納入到家計(jì)3030i5 +半導(dǎo)體步進(jìn)設(shè)計(jì)一些新的升級(jí)。 FPA-3030i5 +是專為各種用戶，包括功率半導(dǎo)體，LED（發(fā)光二極管）和MEMS制造商提供一個(gè)靈活的解決方案。

佳能FPA-3030i5 +在同類產(chǎn)品中實(shí)現(xiàn)最高級(jí)別的成像分辨率，套印精度和生產(chǎn)率表現(xiàn)
根據(jù)通過(guò)的現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證焦平面-3000系列，在焦平面-30303i5培養(yǎng)技術(shù)+能夠提供低于350納米的成像分辨率* 1保持覆蓋小于40納米* 1和吞吐量超過(guò)104每小時(shí)晶圓精度的同時(shí)， * 2提供最高級(jí)別的性能，在同一類的i線光刻工具。* 3佳能開(kāi)發(fā)的FPA-3030i5 +系統(tǒng)，以可靠地滿足和超越綠色器件和MEMS制造商的成像，疊加和生產(chǎn)力的要求。

FPA-3030i5 +采用新的軟件結(jié)構(gòu)和電氣控制系統(tǒng)，允許應(yīng)用先進(jìn)的硬件和軟件選項(xiàng)，以支持下一代半導(dǎo)體制造。

佳能FPA-3030i5 +支持綠色器件和MEMS制造所需的特殊基板材料
焦平面-3030平臺(tái)，允許加工硅（Si），藍(lán)寶石（Al2O3），碳化硅（SiC）和各種各樣的綠色設(shè)備制造中使用的晶圓材料。 FPA-3030i5 +選項(xiàng)包括翹曲晶圓處理系統(tǒng)允許扭曲基板的加工。的FPA-3030i5 +步進(jìn)還可以被配置來(lái)處理多個(gè)晶圓尺寸，并且可以配備多種選項(xiàng)，以提高生產(chǎn)力和效率。

* 1 1 nm（納米）= 1米的十億分
* 2 200毫米晶圓，每片晶圓的60桿
* 3截至2012年6月15日，在同一類的i線光刻工具（基于佳能的市場(chǎng)調(diào)研）