固態(tài)型電導(dǎo)測(cè)量傳感器

固態(tài)型電導(dǎo)測(cè)量傳感器
基于金屬、半導(dǎo)體或電介質(zhì)的電阻（或電導(dǎo)）在被測(cè)物存在下發(fā)生變化而進(jìn)行傳感檢測(cè)。
（a）半導(dǎo)體氣體傳感器
　　一些半導(dǎo)體元件在吸附氣體組分后可改變其載流子數(shù)目和阻抗，由此可檢測(cè)氣體組分含量。例如：多孔n-型二氧化錫半導(dǎo)體燒結(jié)體（添加鉑或鈀作催化劑）, 其電阻／電導(dǎo)可隨環(huán)境氣體濃度的增加而減小/增大。此一特性可用于氫、一氧化碳、乙醇、甲烷等多種氣體的檢測(cè)。此外還可用氧化鋅、γ-三氧化二鐵等其它金屬氧化物作檢測(cè)元件。使用氧化鋅，可改善測(cè)定的選擇性。
　　這種傳感器不含電解質(zhì)液，不需維護(hù)，很少中毒現(xiàn)象，使用壽命長(zhǎng)（可達(dá)5年～10年或以上）。測(cè)定濃度范圍可由10-6級(jí)至％級(jí)，響應(yīng)時(shí)間10～30s（％濃度級(jí)）或30～605s（10-6濃度級(jí)），工作溫度－40℃至90℃（有的商品傳感器為－10℃ 至45℃），測(cè)量準(zhǔn)確度士5％。下表列出美國(guó)Mitchell儀器公司1993 / 1994 年產(chǎn)品的測(cè)定量程。



（b）金箱化學(xué)電阻器
　　在絕緣底物（玻璃、陶瓷、氧化鋁或石英等）上蒸鍍一層極薄的金膜（厚7.5～40nm，電阻值300～1500Ω），當(dāng)被測(cè)物擴(kuò)散入膜內(nèi)時(shí)，因?yàn)R散效應(yīng)而使電阻值改變，由此可測(cè)l～l000Pg/m3的汞或3×10-9～500×10-9的硫化氫，響應(yīng)時(shí)間約13s，水蒸汽、二氧化硫及烴類氣體不干擾。在150℃下熱解吸后可重復(fù)使用。,