雙頻激光干涉儀的優(yōu)越性

雙頻激光干涉儀的優(yōu)越性

1. 精度高：雙頻激光干涉儀以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行度量的儀器。即使不做細(xì)分也可達(dá)到μm 量級(jí)，細(xì)分后更可達(dá)到nm量級(jí)。
　　2. 應(yīng)用范圍廣：雙頻激光干涉儀除了可用于長(zhǎng)度的精密測(cè)量外，配上適當(dāng)?shù)母郊�還可測(cè)量角度、直線度、平面度、振動(dòng)距離及速度等等。
　　3. 環(huán)境適應(yīng)力強(qiáng)：即使光強(qiáng)衰減 90%，仍然可以得到有效的干涉信號(hào)。由于這一特點(diǎn)，雙頻激光干涉儀既可在恒溫、恒濕、防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊、量桿、刻尺、微分校準(zhǔn)器和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，也可以在普通的車(chē)間內(nèi)為大型的機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。
　　4. 實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)測(cè)量，測(cè)速高：現(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測(cè)速普遍達(dá)到1 m/s，有的甚至于十幾m/s，適于高速動(dòng)態(tài)測(cè)量。