半導(dǎo)體特氣檢測儀XD-303
半導(dǎo)體特氣檢測儀XD-303
特點(diǎn):
采用定電位電解式傳感器,對被測氣體具有選擇性。
高檢測靈敏度。
能檢測很多種類的半導(dǎo)體特氣。
液晶數(shù)字顯示。 |
型 號 |
XD-303AH |
XD-303PH |
XD-303BH |
XD-303 |
檢測對象氣體 |
砷烷 (ASH3) |
磷烷 (PH3) |
乙硼烷 (B2H6) |
其它 |
檢 測 范 圍 |
1ppm 0~0.2ppm |
0~1ppm 0~0.3ppm |
0~1ppm |
因規(guī)格而異 |
最 小 刻 度 |
0.1ppm 0.01ppm |
0.1ppm 0.01ppm |
0.1ppm |
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采 樣 方 式 |
自動(dòng)吸引式 |
應(yīng) 答 速 度 |
60%應(yīng)答40秒 | | |
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