半導體特氣檢漏儀XP-703D
¬ 最適合于檢測半導體特氣的微量泄漏。
¬ 采用聲光報警。
型 號
檢測對象氣體
半導體材料氣體(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等)
檢測原理
熱線型半導體式
采樣方式
自動吸引式
可檢測濃度
(單位:ppm)
砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
檢測表示
蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍
應答速度
10秒以內