半導(dǎo)體材料氣體 xps-7
¬ 只要更換傳感器單元就可以檢測(cè)對(duì)象氣體
¬ 用盒式傳感器單元無(wú)需進(jìn)行檢測(cè)器校正
¬ 大幅度削減成本和維護(hù)時(shí)間
型號(hào) XPS-7 檢測(cè)原理 定電位電解式 檢測(cè)氣體對(duì)象 半導(dǎo)體材料氣體 指示范圍 根據(jù)規(guī)格 分辨率 實(shí)現(xiàn)滿量程的百分之一 指示精度 FS±10%以內(nèi) 報(bào)警模式 2段報(bào)警方式 報(bào)警方式 蜂鳴器(間歇音)、報(bào)警燈閃爍 應(yīng)答時(shí)間 60秒以內(nèi)(60%應(yīng)答) 電源 5號(hào)堿性干電池4節(jié)或AC專用變壓器 電池使用時(shí)間 連續(xù)12小時(shí)以上 外型尺寸 W 檢測(cè)方式 泵吸式 使用溫度范圍 0℃~40℃ 重量 約1.3kg 附件 肩背皮帶、5號(hào)堿性干電池4節(jié)、過(guò)濾紙兩張 選購(gòu)件 AC專用變壓器、傳感器專用通電臺(tái)、數(shù)據(jù)收集配套元件
XPS-7對(duì)象氣體一覽表 | ||||||||
型號(hào) | 氣體 | F.S | 型號(hào) | 氣體 | F.S | 型號(hào) | 氣體 | F.S |
XPS-7NH | NH3 | 100ppm | XPS-7GH | GeH4 | 1ppm | XPS-7HS | H2S | 50ppm |
XPS-7SH | SiH4 | 25ppm | XPS-7CL | CL2 | 5ppm | XPS-7CO | CO | 250ppm |
XPS-7DC | SiH2CL2 | 25ppm | XPS-7CF | CLF3 | 1ppm | XPS-7DS | Si2H6 | 25ppm |
XPS-7AS | AsH3 | 250ppm | XPS-7HC | HCL | 25ppm | XPS-7F2 | F2 | 5ppm |
XPS-7PH | PH3 | 1ppm | XPS-7HF | HF | 10ppm | XPS-7OZ | O3 | 1ppm |
XPS-7BH | B2H6 | 500ppm | XPS-7HB | HBr | 10ppm | |||
XPS-7SE | H2Se | 250ppm | XPS-7NO | NO | 100ppm |